אופֿן פון פּריפּערינג פּאָליסיליקאָן.

1. לאָודינג

שטעלן די קאָוטאַד קוואַרץ קרוסאַבאַל אויף די היץ וועקסל טיש, לייגן סיליציום רוי מאַטעריאַל, דעמאָלט ינסטאַלירן באַהיצונג עקוויפּמענט, ינסאַליישאַן ויסריכט און אויוון דעקן, עוואַקוירן די אויוון צו רעדוצירן די דרוק אין די אויוון צו 0.05-0.1מבאַר און האַלטן וואַקוום. באַקענען אַרגאָן ווי אַ פּראַטעקטיוו גאַז צו האַלטן די דרוק אין די אויוון בייסיקלי אַרום 400-600 מבאַר.

2. באַהיצונג

ניצן אַ גראַפייט כיטער צו היץ די אויוון גוף, ערשטער יוואַפּערייט די נעץ אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך פון גראַפייט טיילן, ינסאַליישאַן שיכטע, סיליציום רוי מאַטעריאַלס, אאז"ו ו, און סלאָולי היץ אַרויף צו מאַכן די טעמפּעראַטור פון די קוואַרץ קרוסאַבאַל דערגרייכן וועגן 1200-1300℃. דעם פּראָצעס נעמט 4-5 שעה.

3. מעלטינג

באַקענען אַרגאָן ווי אַ פּראַטעקטיוו גאַז צו האַלטן די דרוק אין די אויוון בייסיקלי אַרום 400-600 מבאַר. ביסלעכווייַז פאַרגרעסערן די באַהיצונג מאַכט צו אַדאַפּט די טעמפּעראַטור אין די קרוסיבלע צו וועגן 1500℃, און די סיליציום רוי מאַטעריאַל הייבט צו צעלאָזן. האַלטן וועגן 1500℃בעשאַס די מעלטינג פּראָצעס ביז די מעלטינג איז געענדיקט. דער פּראָצעס נעמט וועגן 20-22 שעה.

4. קריסטאַל וווּקס

נאָך די סיליציום רוי מאַטעריאַל איז צעלאָזן, די באַהיצונג מאַכט איז רידוסט צו מאַכן די טעמפּעראַטור פון די קרוסיבלע פאַלן צו וועגן 1420-1440℃, וואָס איז די מעלטינג פונט פון סיליציום. דעמאלט באוועגט זיך די קוואַרץ קרוסיבלע ביסלעכווייַז אַראָפּ, אָדער די ינסאַליישאַן מיטל ביסלעכווייַז ריסעס, אַזוי אַז די קוואַרץ קרוסאַבאַל פּאַמעלעך פאַרלאָזן די באַהיצונג זאָנע און פארמען היץ וועקסל מיט די סוויווע; אין דער זעלביקער צייַט, וואַסער איז דורכגעגאנגען דורך די קאָאָלינג טעלער צו רעדוצירן די טעמפּעראַטור פון די צעשמעלצן פון די דנאָ, און קריסטאַליין סיליציום איז ערשטער געשאפן אין די דנאָ. בעשאַס דעם וווּקס פּראָצעס, די האַרט-פליסיק צובינד שטענדיק בלייבט פּאַראַלעל צו די האָריזאָנטאַל פלאַך ביז די קריסטאַל וווּקס איז געענדיקט. דער פּראָצעס נעמט וועגן 20-22 שעה.

5. אַנילינג

נאָך די קריסטאַל וווּקס איז געענדיקט, רעכט צו דער גרויס טעמפּעראַטור גראַדיענט צווישן די דנאָ און די שפּיץ פון די קריסטאַל, טערמאַל דרוק קען עקסיסטירן אין די ינגגאַט, וואָס איז גרינג צו ברעכן ווידער בעשאַס די באַהיצונג פון די סיליציום ווייפער און די צוגרייטונג פון די באַטאַרייע. . דעריבער, נאָך די קריסטאַל וווּקס איז געענדיקט, די סיליציום ינגגאַט איז געהאלטן לעבן די מעלטינג פונט פֿאַר 2-4 שעה צו מאַכן די טעמפּעראַטור פון די סיליציום ינגגאַט מונדיר און רעדוצירן טערמאַל דרוק.

6. קאָאָלינג

נאָך די סיליציום ינגגאַט איז אַנניילד אין די אויוון, קער אַוועק די באַהיצונג מאַכט, הייבן די היץ ינסאַליישאַן מיטל אָדער גאָר נידעריקער די סיליציום ינגגאַט, און אַרייַנפיר אַ גרויס לויפן פון אַרגאָן גאַז אין די אויוון צו ביסלעכווייַז רעדוצירן די טעמפּעראַטור פון די סיליציום ינגגאַט. צימער טעמפּעראַטור; אין דער זעלביקער צייט, די גאַז דרוק אין די אויוון איז ביסלעכווייַז העכערונג ביז עס ריטשאַז אַטמאַספעריק דרוק. דעם פּראָצעס נעמט וועגן 10 שעה.